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广州市莱塞激光设备有限公司
联系人:胡伟林 先生 (销售总监) |
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供应光纤激光打标机 空调器外壳激光打标机 |
激光技术被广泛应用于电子工业中加工氧化铝和氮化铝陶瓷基板,迄今有30多年的历史。为了将陶瓷基板分为独立部分,可使用激光刻划(打钻)一系列局部(未通)高公差孔洞。这些孔洞大约深入基板三分之一,生成后期破裂的优先断层线。使用其它技术,也可以在基板上加工通路、槽孔、确定形貌和精细图案(图 1)。
由于常用陶瓷具有吸收的特性,CO2 激光器已经成为激光器的选择。脉冲CO2 激光器光束的能量在陶瓷表面被吸收,因此产生局部加热、熔化和汽化。图2显现出氧化铝内0.0045英寸划线的顶视图,表明在使用相对较长脉冲期间(大约 75-300m,视厚度而定),在高斯光束能量分布图中的低能量边缘之下,因局部熔化造成的热影响区域(HAZ)。
多年以来,CO2 激光器以长时间班次工作时,在气体和能量方面将消耗大量资源,还要求制定维护计划。另外,典型用于这种应用的脉冲参数意味着密封管CO2 激光器技术不太合适。整体来说,在经过多年大量改进时,CO2 激光器在可靠性和维护问题方面仍然位于其它技术之后。在维护期间,这些激光器的光束质量还是易于变化;可以达到的最小光点大小也易于受到长波影响。单独来讲,陶瓷的激光器光束吸收特性使这种技术影响该市场领域很长时间。 |
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